走査電子顕微鏡－エネルギー分散型Ｘ線分析

SEM-EDX　セム・イーディーエックス

SEM-EDS　セム・イーディーエス

主に試料の表面観察及び元素分析に用いる。

SEMとは、試料に電子線を照射した際に発生する反射電子または二次電子を利用して、表面形状を解析する顕微鏡の事をいう。数十倍～数万倍までの観察が可能。

また、EDXとは、資料に電子線を照射した際に発生する特性Ｘ線から、試料表面に含まれる元素を特定する分析装置である。試料の構成元素のおおよその含有量が測定できる。