高温のアルゴンプラズマを励起源とする発光分光分析法で、試料に電気的（高周波）、熱的エネルギー（プラズマ）を与えることにより発光させ、放射された光を分光して元素特有の光（スペクトル線）の有無と強度を測定することにより定性、定量分析を行う。